SEMICONDUCTOR PARTS

スパッタリング・ターゲット

材料WMoTaNbTiNiCrSiO2Cu
純度99.9599.9599.999.999.999.799.999.999.9

規格

標準サイズは下表の上記以外のものもご要望に応じ製作いたします。
又、特殊サイズも製作致しております。寸法等をご指定、ご相談下さい。
注)材質によっては寸法の差異があります

製品No.寸法(m/m)
004-03003t×φ101.6
004-05005t×φ101.6
004-06356.35t×φ101.6
005-03003t×φ127
005-05005t×φ127
005-06356.35t×φ127
006-03003t×φ152.4
006-05005t×φ152.4
006-06356.35t×φ152.4
008-03003t×φ203.2
008-05005t×φ203.2
008-06356.35t×φ203.2
010-03003t×φ254
010-05005t×φ254
010-06356.35t×φ254
製品No.寸法(m/m)
012-03003t×φ304.8
012-05005t×φ304.8
012-06356.35t×φ304.8
016-03003t×φ406.4
016-05005t×φ406.4
016-06356.35t×φ406.4
508-03003t×127×203.2
508-05005t×127×203.2
508-06356.35t×127×203.2
512-03003t×127×304.8
512-05005t×127×304.8
512-06356.35t×127×304.8
515-03003t×127×381
515-05005t×127×381
515-06356.35t×127×381
製品No.寸法(m/m)
608-03003t×152.4×203.2
608-05005t×152.4×203.2
608-06356.35t×152.4×203.2
612-03003t×152.4×304.8
612-05005t×152.4×304.8
612-06356.35t×152.4×304.8
620-03003t×152.4×508
620-05005t×152.4×508
620-06356.35t×152.4×508
  
  
  
  
  
  

ボンディング

各標準サイズはもとより、特殊サイズのターゲット、又は特殊材質のボンディング加工も行います。
ご相談下さい。

MBEパーツ

主としてモリブデン、タンタル、タングステンを材料として製作致します。


MBEパーツ